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譜量光電研發(fā)制造的精密無磁氣浮隔振光學(xué)平臺,能夠滿足精密負載對振動隔離需求。上面板采用304 無磁不銹鋼,臺面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu),內(nèi)核密度大幅度提高,具有優(yōu)秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺面采用精 密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度0.6um,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射、啞光效果,面板具有 M6 陣列螺孔,易于固定光學(xué)元件。